特許

J-GLOBAL ID：200903009376889745

光源ユニット、照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法

発明者： 鈴木 健司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-126009
公開番号（公開出願番号）：特開2007-299891
出願日： 2006年04月28日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

【課題】集光光学系の集光位置がずれることによる光量の減少及びコリメータ光学系の光学性能の低下を抑制することができる光源ユニットを提供する。【解決手段】光源20からの光を集光する集光光学系22と、前記集光光学系22の集光位置またはその近傍に配置される開口部34とを備えた光源ユニット2であって、前記集光光学系22の光路の中心を通る基準軸の方向における前記集光光学系22の集光位置のずれに応じて、前記基準軸の方向における前記開口部34の位置及び前記開口部34の大きさの少なくとも一方を変更する変更手段例えば40を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光源からの光を集光する集光光学系と、前記集光光学系の集光位置またはその近傍に配置される開口部とを備えた光源ユニットであって、 前記集光光学系の光路の中心を通る基準軸の方向における前記集光光学系の集光位置のずれに応じて、前記基準軸の方向における前記開口部の位置及び前記開口部の大きさの少なくとも一方を変更する変更手段を備えることを特徴とする光源ユニット。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/30 531S ,  H01L21/30 517

Fターム (8件)：

5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB04 ,  5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光装置及びその制御方法、これを用いたデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-020213   出願人：キヤノン株式会社