特許
J-GLOBAL ID：200903058845988521
露光装置及びその制御方法、これを用いたデバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-020213
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224053
出願日： 2002年01月29日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】露光光の強度の測定精度を向上させ、露光量の補償制御を適切に行えるようにする。【解決手段】EUV露光装置は、EUV光をレチクル111へ導く照明系ミラー106〜109を含む第1反射光学系と、該レチクル111からの反射光をウエハ131に導くための投影系ミラー121〜124を含む第2反射光学系を有し、レチクル111上のパターンをウエハ121に転写する。ここで、第1反射光学系には、レチクルを均一に所定の開口数で照明するためのオプティカルインテグレータ107が設けられている。このオプティカルインテグレータ107はピンホール201を有し、EUV光の一部をEUV光強度検出器202へ分岐させる。制御装置151は、EUV光強度検出器202によって検出されたEUV光の光強度に基づいて露光量を制御する。
請求項（抜粋）：
露光光をレチクルへ導く第1反射光学系と、該レチクルからの反射光を基板に導く第2反射光学系を有し、該レチクル上のパターンを該基板に転写する露光装置であって、前記第1反射光学系に設けられ、前記レチクルを均一に所定の開口数で照明するためのオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータの位置乃至その近傍で前記露光光の一部を分岐させる分岐手段と、前記分岐手段で分岐された露光光の光強度を検出する検出手段とを備えることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 C
, H01L 21/30 531 A
, H01L 21/30 517
, H01L 21/30 516 D
5F046BA05
, 5F046CB02
, 5F046CB13
, 5F046CB23
, 5F046DA01
, 5F046DA02
, 5F046DB01
, 5F046DC02
, 5F046GA03
, 5F046GA06
, 5F046GA14
, 5F046GB01
, 5F046GC03
, 5F046GD10
