特許
J-GLOBAL ID：200903009400443400

薄膜磁気ヘッドおよび薄膜磁気ヘッドの製造方法

発明者：
喜多 弘行

喜多 弘行 について

, 
内山 博一

内山 博一 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-100293
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291213
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 反応性エッチングを利用した薄膜磁気ヘッドの記録ギャップ及び磁気コアの加工工程をより安定的に、かつ効率的なものにすること。【解決手段】 記録ギャップをCHF3またはCF4とArの混合ガスを用いた反応性エッチングで抜き、続いて下部磁気コアをエッチングで形成するに際し、本発明は上部磁気コア形成後、前記上部磁気コアとその周辺部を除く基板表面を薄い金属膜で覆い、磁性層に対し非磁性層のエッチングレートの大きな反応性エッチングを用いて前記磁気コア周辺に露出する非磁性層を除去し、続いて前記非磁性層に対し磁性層のエッチングレートの大きなイオンビームエッチングにより、前記上部磁気コア周辺に露出する下部磁気コア突合せ部の加工を行う。この方法によりエッチング時に上部磁気コアや記録ギャップ部への再付着の量が押さえられ、高効率で安定したトラック幅精度の加工が可能になる。
請求項（抜粋）：
磁気抵抗効果素子層とこの磁気抵抗効果素子層に検出電流を与える主電極層とで構成される読み出しヘッドと、前記読み出しヘッドの上部に絶縁層を介して形成され、記録ヘッドのリーディング側コア機能と読み出しヘッドの上部シールド機能とを兼ねた下部磁気コア層と、前記下部磁気コア層と磁気ギャップを介して対向する上部磁気コア層と、両磁気コア層に磁界を与えるコイル層とで構成される記録ヘッドを有する薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記読み出しヘッドが形成された基板上に絶縁層を介して下部磁気コア層となる第1の磁性層と磁気ギャップを規定する非磁性層を順次形成する工程と、前記非磁性層上に上部磁気コアの形状を規定する第2の磁性層を形成する工程と、前記第2の磁性層およびその周辺を除く前記非磁性層上に第2の磁性層よりも薄い金属層を形成する工程と、前記金属層を形成後前記第2の磁性層周辺に露出した前記非磁性層を除去する工程と、前記第2の磁性層をマスクとして前記第1の磁性層を所定の深さにエッチングする工程とを含む薄膜磁気ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
G11B 5/31 ,  G11B 5/39
FI (3件)：
G11B 5/31 D ,  G11B 5/31 K ,  G11B 5/39
Fターム (10件)：
5D033BA03 ,  5D033BA13 ,  5D033BA21 ,  5D033BB43 ,  5D033DA03 ,  5D033DA04 ,  5D033DA07 ,  5D033DA08 ,  5D034BA02 ,  5D034BB12
引用特許：
出願人引用 (2件)

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