特許

J-GLOBAL ID：200903009435426215

ハイポフルオライトの除害方法

発明者： 毛利 勇 ,  大橋 満也 ,  川島 忠幸 ,  田村 哲也
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195540
公開番号（公開出願番号）：特開2001-017834
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】 クリーニングガス、エッチングガスとして使用したハイポフルオライトを分解除去する除害方法を提供する。【解決手段】 ハイポフルオライトを、ソーダライム、Ca(OH)2、CaO、CaCO3、活性アルミナ、NaOH、Na2O、Na2CO3、Mg(OH)2、MgO、MgCO3、Siのうちの少なくとも1種以上を含有した除害剤で分解除去する。

請求項（抜粋）：

ハイポフルオライトを、ソーダライム、Ca(OH)2、CaO、CaCO3、活性アルミナ、NaOH、Na2O、Na2CO3、Mg(OH)2、MgO、MgCO3、Siのうちの少なくとも1種以上を含有した除害剤で分解除去することを特徴とするハイポフルオライトの除害方法。

IPC (6件)：

B01D 53/70 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01J 20/08 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

B01D 53/34 134 E ,  B01J 20/08 C ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/205 ,  B01D 53/34 ZAB

Fターム (33件)：

4D002AA22 ,  4D002AC10 ,  4D002BA03 ,  4D002BA15 ,  4D002CA07 ,  4D002DA02 ,  4D002DA05 ,  4D002DA06 ,  4D002DA08 ,  4D002DA11 ,  4D002DA12 ,  4D002DA16 ,  4D002DA46 ,  4D002DA70 ,  4D002GA01 ,  4D002GA02 ,  4D002GB01 ,  4D002GB02 ,  4D002GB03 ,  4G066AA03B ,  4G066AA13B ,  4G066AA16B ,  4G066AA17B ,  4G066AA20B ,  4G066AA43B ,  4G066CA32 ,  4G066DA02 ,  4K029BD01 ,  4K029DA09 ,  4K030DA06 ,  5F045EB06 ,  5F045EC09 ,  5F045EG08

引用特許：

審査官引用 (12件)

• 特開昭61-061619
  
• 特開昭61-204025
  
• 特開昭63-130124
  
• 特開昭63-137736
  
• 特開平3-202128
  
• 有害ガスの浄化方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-169104   出願人：日本パイオニクス株式会社
• 有害物除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-294577   出願人：淡路敏夫
• 特開昭61-061619
  
• 特開昭61-204025
  
• 特開昭63-130124
  
• 特開昭63-137736
  
• 特開平3-202128