特許
J-GLOBAL ID：200903009462970547
露光装置、デバイス製造方法およびステージ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165124
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326356
出願日： 1996年06月06日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 原版ステージの移動に伴う定盤の変形、投影光学系や原版と基板間の位置測定精度を改善する。基板の移動を簡単な構成で高精度にする。【解決手段】 投影光学系2と原版ステージ1を第2定盤9上に配置し、3点に配置したダンパ11および支柱12を介して第2定盤を支持し、3点が構成する三角形の重心と投影光学系の重心とを一致させる。この三角形を二等辺三角形とし、第2定盤上において、三角形の二等辺が交わる点と重心とを結ぶ直線に平行に走査させる。基板ステージを支持する第1定盤7と第2定盤間の距離を測定する場合に、第1定盤上の測定点を、第1定盤の3つの支持点による三角形の各頂点とそれに隣接する辺の中点とを通る直線上とする。また、基板ステージを、走査方向に移動する第1ステージ3bと、その上の走査方向に直角に移動する第2ステージ3aとで構成する。
請求項（抜粋）：
原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板に投影し、投影光学系に対し相対的に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する走査型の露光装置であって、前記原版を保持する原版ステージと、前記投影光学系および前記原版ステージを設けた定盤と、この定盤を3点に配置したダンパおよび支柱を介して支持する支持手段と、前記原版ステージを前記定盤上で前記走査のために走査方向に移動させる駆動手段とを備え、前記3点は2等辺三角形を構成しており、その2等辺が交わる点と重心とを結ぶ直線に対して前記走査方向は平行であることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 514 C
, H01L 21/30 515 Z
