特許
J-GLOBAL ID:200903009475550563
固体酸化物燃料電池の製造方法および装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小林 邦雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-153276
公開番号(公開出願番号):特開2009-301797
出願日: 2008年06月11日
公開日(公表日): 2009年12月24日
要約:
【課題】固体酸化物燃料電池の緻密な電解質と多孔質の空気極を一回の製膜プロセスで作成が可能な製造方法を提供する。【解決手段】レーザー堆積法においては、結晶成長が2次元であるため、結晶の成長エネルギーが小さくて済むことから、従来の方法より低い600〜800°Cでの作製が可能であり、基板を真空チャンバーに入れた状態において、少なくとも一つの成膜条件を変更することにより、固体酸化物燃料電池の多孔質/緻密/多孔質構造の積み分けが一回の製膜プロセスで作製することを可能とした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
レーザー堆積法による固体酸化物燃料電池セルの成膜方法であって、基板を真空チャンバーに入れた状態において、少なくとも一つの成膜条件を変更することにより複数の性質の異なる膜を形成することを特徴とする固体酸化物燃料電池セルの成膜方法。
IPC (6件):
H01M 8/02
, H01M 8/12
, H01M 4/88
, C23C 14/08
, C23C 14/28
, C23C 14/24
FI (6件):
H01M8/02 E
, H01M8/12
, H01M4/88 T
, C23C14/08 N
, C23C14/28
, C23C14/24 S
Fターム (22件):
4K029AA04
, 4K029AA24
, 4K029BA43
, 4K029BA64
, 4K029CA02
, 4K029DB05
, 4K029DB08
, 4K029DB20
, 5H018AA06
, 5H018BB07
, 5H018DD01
, 5H018DD08
, 5H018EE13
, 5H018HH00
, 5H018HH03
, 5H018HH08
, 5H018HH09
, 5H026AA06
, 5H026BB04
, 5H026CX04
, 5H026EE13
, 5H026HH00
引用特許:
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