ロット管理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177299
公開番号（公開出願番号）：特開平7-085155
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】オペレータが一時的に不在であってもロット処理が製造装置の稼動率の低下を伴うことなく行われるようにすると共に、ロットの処理順番もオペレータの判断によることなく妥当に決定され得るようにする。【構成】ライン管理コンピュータ1に従属する工程ホストコンピュータ2に支配される工程内管理コンピュータ3が、オペレータから待ちロット情報の表示要求を受けると工程ホストコンピュータ2からのデータに基づいて待ちロットと管轄内の製造装置の表示をし、そして、オペレータによってその表示されたものの中からロットとそれを処理する製造装置の組合せを予約対象とするという入力を受けると、その予約の処理順番及び設定内容の記憶を行うと共に、その予約の実行に伴って必要となるロットの搬送に関する指示を行うようにする。

請求項（抜粋）：

ロット処理に必要な製造基礎情報を保持し、複数のエリアからなるラインの全体を管理するライン管理コンピュータと、工程の種類毎に設けられ仕掛りロットの進捗の把握、ロット作業指示等を行う、上記ライン管理コンピュータに従属した複数の工程ホストコンピュータと、上記工程ホストコンピュータに従属して一定エリア内の一又は複数の製造装置を製造装置制御コンピュータを介して制御する複数の工程内管理コンピュータと、各エリア毎に設けられたステーション間を結ぶ搬送路を通ってロットを上記ステーションとの間で受け渡しする工程間搬送ビークルと上記各ステーションを、工程間制御コンピュータを介して制御する搬送管理コンピュータと、各エリア内の各製造装置と上記ステーションとの間でロットの搬送を行う工程内搬送ロボットを、上記工程内管理コンピュータにより管理されて制御する搬送ロボット制御コンピュータと、を少なくとも備えたロット管理装置であって、上記各工程ホストコンピュータは、自己の管轄工程に仕掛っている各ロットの進捗度を記憶するロット進捗ファイルを少なくとも有し、上記各工程内管理コンピュータは、自己の管轄エリア内の製造装置による処理を待っているロットを記憶する待ちロットファイルと、予約済みの各ロットを記憶する予約済ロットファイルと、製造装置とそれにより処理するロットを指定する予約が入力されると予約の処理順番、あるいは開始日時等を設定する作業開始処理手段とを少なくとも備え、待ちロット情報の表示要求があると上記工程ホストコンピュータは、自己のロット進捗管理ファイルから、待機中の各ロットをそれを処理すべき製造装置を管轄する工程内管理コンピュータに送信するようにされ、そして、上記工程内管理コンピュータは、待ちロット情報の表示要求による待機中の各ロットを上記工程ホストコンピュータから受信するとこれを待ちロットファイルに記憶すると共に、この各ロットと該各ロットを処理できる管轄内製造装置を表示するようにされ、上記表示の中からロットと製造装置が作業開始予約対象として選択されると上記工程内管理コンピュータは上記作業開始処理手段によってその予約の処理順番あるいは開始日時等の設定を行うと共に予約済ロットファイルにそのロットをそれを処理すべき製造装置と共に開始順に記憶するようにされ、そして、工程内管理コンピュータは予約済ロットファイルに記憶された予約ロットを作業開始させるためのステーション間の搬送を工程ホストコンピュータを介して搬送管理コンピュータに指示し、ステーション・製造装置間の搬送を搬送ロボット制御コンピュータに指示するようにされたことを特徴とするロット管理装置

IPC (4件)：

G06F 17/60 , B23Q 41/00 , H01L 21/02 , G05B 15/02

FI (2件)：

G06F 15/21 R , G05B 15/02 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-133105
特開平3-024664
特開平2-185351

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