固体撮像素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-306578
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150177
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】固体撮像素子の青感度を、蛍光顔料を用いて、隣接するフォトダイオードとのクロストークなく、効率よく高めることを目的とする。【解決手段】マトリックス上にフォトダイオード10を有し、その周囲の上層に遮光膜5を有する固体撮像素子において、任意のフォトダイオード10上層、または、フォトダイオード10上層で遮光膜5上端より下層に蛍光発光膜9が設けられている。また、蛍光発光膜9上層に蛍光発光膜9の吸収波長は透過し、発光波長は反射する1層または多層の干渉フィルタ3が設けられている。また、フォトダイオード10のNウェル14を基板内深くまで形成し、感度のピーク波長を通常設定値の550nmより長波長側にシフトさせている。

請求項（抜粋）：

基板上にマトリックス状に受光部を有し、隣接する受光部間上層に設けられ、かつ、各受光部の周囲を取囲むように遮光膜が形成されている固体撮像素子であって、任意の受光部上層、または受光部上層で前記遮光膜の上端より下層に波長変換部を有することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 27/148 , H04N 5/30

FI (3件)：

H01L 27/14 D , H04N 5/30 , H01L 27/14 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-086857
特開昭59-056766
放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-255386 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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