特許

J-GLOBAL ID：200903009525506102

蒸着材料保持手段および真空蒸着装置

発明者： 大嶋 司 ,  窪田 隆弘 ,  藤田 浩 ,  伊関 清司 ,  日高 秀二 ,  高田 益明
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016546
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212727
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】 走行中のフィルム表面に異なる元素からなり、所定の組成比および目標厚みを有する混合膜を、連続的、且つ均ーに形成できる蒸着材料保持手段および真空蒸着装置を提供する。【解決手段】 異なる蒸着材料10を保持可能な坩堝8を備え、この坩堝8は内部に薄い仕切り板13を有していると共に、仕切り板13を冷却可能な冷媒管15を備える蒸着材料保持手段およびこれを備えた真空蒸着装置。

請求項（抜粋）：

異なる蒸着材料を保持可能な容器を備え、この容器は内部に薄い仕切り部を有していると共に、仕切り部を冷却可能な冷却機能を備える蒸着材料保持手段。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C08J 5/18

FI (2件)：

C23C 14/24 A ,  C08J 5/18

Fターム (21件)：

4F071AA15 ,  4F071AA20 ,  4F071AA24 ,  4F071AA25 ,  4F071AA46 ,  4F071AA54 ,  4F071AA55 ,  4F071BB11 ,  4F071BC02 ,  4K029AA11 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB10 ,  4K029DB12 ,  4K029DB21 ,  4K029EA01 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 積層フィルムおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-233425   出願人：東洋紡績株式会社
• 連続真空蒸着装置及び蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-006375   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 透明バリヤーフィルムと蒸着用るつぼ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-224799   出願人：東セロ株式会社
• 特開平1-014726