固体撮像素子用マイクロレンズアレイ及びそれを用いた固体撮像素子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116472
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304906
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】固体撮像素子の受光部の受光効率を上げ、固体撮像装置の感度や画質を向上できるマイクロレンズアレイ及び固体撮像素子を提供することを目的とする。【解決手段】半導体基板11に受光部12、遮光部13、平坦化層14、カラーフイルター層15及びオーバーコート層16を形成し、あらかじめ波長450nmでの消衰係数が0.57×10-3になるように調整されたポジ型レジスト(JSR(株)製)にて樹脂パターン層を形成し、130°Cで加熱・軟化させることにより凸レンズ状のマイクロレンズ21及びマイクロレンズアレイ22を有する固体撮像素子10を得る。さらに、マイクロレンズ21上に、あらかじめ波長450nmでの屈折率が1.45になるように調合されたアクリル系樹脂にて0.09μm厚の充填率改善層31を形成したマイクロレンズアレイ32を有する固体撮像素子20を得る。

請求項（抜粋）：

水平方向と垂直方向に二次元的に配置された受光部を有する固体撮像素子上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、前記マイクロレンズアレイを構成しているマイクロレンズの消衰係数が波長450nmで1.82×10-3以下であることを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズアレイ。

IPC (4件)：

G02B 3/00 , H01L 27/14 , H01L 31/0232 , H04N 5/335

FI (4件)：

G02B 3/00 A , H04N 5/335 V , H01L 27/14 D , H01L 31/02 D

Fターム (25件)：

4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA09 , 4M118CA02 , 4M118EA20 , 4M118FA06 , 4M118GB03 , 4M118GB07 , 4M118GB11 , 4M118GC08 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024AA01 , 5C024CA00 , 5C024EA04 , 5C024EA08 , 5C024FA01 , 5C024GA01 , 5F088BA01 , 5F088BB03 , 5F088EA06 , 5F088HA02 , 5F088HA20 , 5F088JA12 , 5F088LA03

引用特許：

審査官引用 (5件)

マイクロレンズアレイの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-321764 出願人：ホーヤ株式会社
固体撮像装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-164877 出願人：シャープ株式会社
遮光部一体型マイクロレンズアレイ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-138549 出願人：ホーヤ株式会社

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