特許
J-GLOBAL ID：200903009550760030

半導体力学量センサの製造方法

発明者：
▲吉▼原 晋二

▲吉▼原 晋二 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-148456
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330621
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】 センシング部の出来映えを共振周波数で容易に検査するために、大規模な装置を必要とすることなく、短時間、かつ高精度に共振周波数を計測できる検査方法を提供する。【解決手段】 可動電極と固定電極との間に駆動電圧を印加すると共に駆動電圧の駆動周波数を変化させることにより可動部を変位させ、この可動部の変位量に応じて変化する出力から共振周波数を計測する。具体的には、出力が急峻に変化するため、その急峻に変化したときが共振周波数となる。
請求項（抜粋）：
半導体基板(1a)に支持され、力学量の印加に応じて変位する可動電極(9a、9b)を備えた可動部(2)と、前記可動電極の検出面と対向する検出面を有し、前記半導体基板に支持された固定電極(3a、3b)とを有する固定部(3、4)を備え、力学量の印加に応じて前記可動部が変位したときの前記可動電極の検出面と前記固定電極の検出面との間の距離変化に基づいて前記可動電極と前記固定電極間の容量を変化させ、この容量を電圧に変換してセンサ出力として取り出すように構成された半導体力学量センサの製造方法において、前記可動電極と前記固定電極との間に駆動電圧を印加すると共に前記駆動電圧の駆動周波数を変化させることにより前記可動部を変位させ、この可動部の変位量に応じて変化する容量-電圧変換後のセンサ出力から共振周波数を計測する工程を有することを特徴とする半導体力学量センサの製造方法。
IPC (3件)：
G01P 15/125 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01P 15/125 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (10件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112BA08 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA32 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA17 ,  4M112EA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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