特許
J-GLOBAL ID：200903009703956770

ダイシング装置及びダイシング装置の管理方法

発明者：
関家 一馬

関家 一馬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-296346
公開番号（公開出願番号）：特開2008-112933
出願日： 2006年10月31日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：
【課題】オペレータがダイシング装置を離れていても異常を認識することができるようにして、オペレータによるダイシング装置の監視を不要とする。【解決手段】装置の異常を検出して異常情報を生成する異常検出手段29aと、異常情報をオペレータの携帯電話機に送信する送信手段29bとを備え、異常の内容を携帯電話機3に送信してオペレータに知らせる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの切削すべきストリートを検出するアライメント手段と、切削済みのウェーハを洗浄する洗浄手段と、切削済みのウェーハを該チャックテーブルから該洗浄手段まで搬送する洗浄用搬送手段と、ウェーハを収容したウェーハカセットが載置されるカセット載置手段と、該ウェーハカセットからのウェーハの搬出及び切削済みのウェーハの該ウェーハカセットへの搬入を行う搬出入手段と、該搬出入手段によって搬出入されるウェーハを仮置きする仮置き手段と、ウェーハを該仮置き手段から該チャックテーブルまで搬送する搬送手段とを少なくとも備えたダイシング装置であって、 装置の異常を検出して異常情報を生成する異常検出手段と、該異常情報をオペレータの携帯電話機に送信する送信手段と を備えたダイシング装置。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 F
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)
  • 加工装置の管理方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-027001   出願人：株式会社ディスコ
  • 特開昭63-011307

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