特許
J-GLOBAL ID：200903099203036584

スピンナー洗浄装置及びダイシング装置

発明者：
井上 克己

井上 克己 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-313813
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128359
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】テープを介してリング状のフレームと一体となったウェーハを回転させながら洗浄水を供給してウェーハの洗浄を行うスピンナー洗浄装置において、外径が異なる複数種類のフレームを保持するにあたり、スピンナーテーブルの面倒な交換作業を不要とする。【解決手段】フレーム支持部26とウェーハ領域支持部27とを有し、フレーム支持部26との間でフレームを挟持する押さえ手段28を、大径のフレームに対応する第一の押さえ手段280と小径のフレームに対応する第二の押さえ手段285とで構成することにより、スピンナーテーブル20を交換せずに、外径が異なるフレームを保持することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
テープを介してフレームと一体となったウェーハを保持して回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持されたウェーハに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルとを少なくとも備えたスピンナー洗浄装置であって、 該スピンナーテーブルは、該フレームを支持するフレーム支持部と、ウェーハ領域を支持するウェーハ領域支持部とを有し、該フレーム支持部の外周には、該スピンナーテーブルの回転によって生じる遠心力によって該フレーム支持部との間で該フレームを挟持する押さえ振り子を備えた押さえ手段が配設され、 該押さえ手段には、少なくとも、大径のフレームを押さえる第一の押さえ振り子を有する第一の押さえ手段と、小径のフレームを押さえる第二の押さえ振り子を有する第二の押さえ手段とを備えたスピンナー洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
H01L21/304 643A ,  H01L21/304 648Z ,  H01L21/78 F
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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