特許
J-GLOBAL ID:200903009713506276

耐食性セラミックス材料

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高山 宏志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-178167
公開番号(公開出願番号):特開2000-001362
出願日: 1998年06月10日
公開日(公表日): 2000年01月07日
要約:
【要約】【課題】 価格および形状制約の問題が生じず、ハロゲン系プラズマに対する耐性が高い耐食性セラミック材料を提供すること。【解決手段】 周期律表3A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素と周期律表4A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素とを含む酸化物を主体とすることで、耐食性のセラミックス材料が得られる。
請求項(抜粋):
周期律表3A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素と周期律表4A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素とを含む酸化物を主体とすることを特徴とする耐食性セラミックス材料。
IPC (2件):
C04B 35/00 ,  C04B 35/50
FI (2件):
C04B 35/00 H ,  C04B 35/50
Fターム (12件):
4G030AA07 ,  4G030AA11 ,  4G030AA12 ,  4G030AA13 ,  4G030AA15 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA37 ,  4G030BA01 ,  4G030BA33 ,  4G030GA19 ,  4G030GA29
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭52-060815
  • 特開昭63-252963
  • セラミック用組成物及びそれを得る方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-131658   出願人:ローヌ-プーラン・シミ, コミツサリアタレネルジーアトミーク
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