特許
J-GLOBAL ID：200903079639976000
耐食性部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201566
公開番号（公開出願番号）：特開平10-045461
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】従来のガラス、石英、ステンレス、アルミナ、AlNの焼結体は、耐食性が不十分であるのに対して、周期律表表第2a族及び第3a族元素化合物は、高い耐食性を示すが、特性が不安定であった。【解決手段】フッ素系や塩素系などのハロゲン性腐食ガス或いはそれらのプラズマに曝される部位を、周期律表第2a族、第3a族元素のうちの少なくとも1種を含む、例えば酸化物、スピネル、コージェライト、YAG、シリケートなどの複合化合物を主体とし、その表面粗さ(Ra)が1μm以下、気孔率が3%以下のセラミック焼結体によって構成する。
請求項（抜粋）：
フッ素系や塩素系などのハロゲン性腐食ガス或いはそれらのプラズマに曝される部位が、周期律表第2a族、第3a族元素のうちの少なくとも1種を含む化合物を主体とし、その表面粗さ(Ra)が1μm以下、気孔率が3%以下のセラミック焼結体によって構成されることを特徴とする耐食性部材。
IPC (10件)：
C04B 35/00
, B01J 19/02
, C04B 35/195
, C04B 35/16
, C04B 35/44
, C04B 35/443
, C04B 35/56
, C04B 35/58 101
, C04B 35/58 105
, H01L 21/3065
C04B 35/00 H
, B01J 19/02
, C04B 35/58 101 A
, C04B 35/58 105 A
, C04B 35/16 A
, C04B 35/16 Z
, C04B 35/44
, C04B 35/44 101
, C04B 35/56 A
, H01L 21/302 B
