特許
J-GLOBAL ID：200903009734513370

インクジェット記録ヘッド

発明者：
金子 峰夫

金子 峰夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-270661
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079672
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：
【要約】【課題】 基板と吐出口形成部材の接合性を向上させ、基板サイズを最小化する。【解決手段】 Si基板H1110上に、電気熱変換素子H1103と、トランジスタH1121と、これらを接続する配線H1120等が配設されている。その全面にSiO2等からなる保護膜H1124が形成され、さらにTaからなる第1および第2の耐キャビテーション膜H1126,H1127が、電気熱変換素子H1103の上方と、トランジスタH1121の上方とに、それぞれロ字状に形成されている。その上方に、吐出口H1107および流路H1130が形成され、かつトランジスタH1121の上方に、変形を逃がす切欠部H1128が形成された吐出口形成部材H1129が構成されている。耐キャビテーション膜H1126,H1127には検査用の電極パッドが設けられている。
請求項（抜粋）：
記録液の液滴を吐出する複数の吐出口が形成されている吐出口形成部材が、前記記録液に吐出エネルギーを付与する複数の記録素子と前記記録素子を駆動する電気回路素子とが配設されている基板上に形成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、前記記録素子の上方を覆う第1の金属膜と、前記電気回路素子の上方を覆う第2の金属膜とを有し、前記吐出口が複数の列をなすように配列されており、各吐出口列の近傍に前記記録素子が列をなすように設けられており、複数の前記記録素子列にわたって前記第1の金属膜が設けられ、前記第1の金属膜と前記第2の金属膜とが、互いに対向する1対の櫛歯状に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
Fターム (9件)：
2C057AF65 ,  2C057AF70 ,  2C057AG15 ,  2C057AG46 ,  2C057AG82 ,  2C057AG90 ,  2C057AK07 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13
引用特許：
審査官引用 (2件)

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