特許
J-GLOBAL ID：200903009759739607
三次元形状測定装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-121275
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292617
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】 本発明の目的は、測定センサーを複数方向から支持可能で、かつ被測定面と光軸との傾き調整(平行度調整)が可能な技術を提供することである。【解決手段】三次元形状測定装置において、測定センサー40を構成する光路形成部5を収容するケース105は、測定光路5aを挟み、かつ測定光路に平行に相対する2面のそれぞれにX軸ピン孔101aが設けられ、ケースの相対する2面及び2面の間の他の面を囲む形状(コの字状)を有し、かつ該他の面の囲む方向の中央部に相当する位置にY軸ピン孔102aを有し、X軸ピン孔のそれぞれに挿入されるX軸平行ピン101を支え、ケースを傾き可能に保持する第1の保持機構103と、X軸平行ピンの軸方向と直交する方向からY軸ピン孔に挿入されるY軸平行ピン102を支え、第1の保持機構を傾き可能に保持する保持部材104aを有する第2の保持機構104とを備えた。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
広帯域光を出力する広帯域光源(1)と、それぞれ遠端に、参照鏡を配置した参照光路と平面を有する被測定物を配置した測定光路の双方に該広帯域光を入射させ、前記参照鏡からの反射光と前記被測定物の該平面からの反射光とを合波して出力する光路形成部(5)と、該光路形成部が出力する反射光の合波を撮像する撮像手段(10)とを備え、前記合波に基づく干渉縞を基に前記被測定物の平面の形状を測定する三次元形状測定装置において、
少なくとも前記光路形成部を収容し、前記測定光路を挟み、かつ該測定光路に平行に相対する2面のそれぞれに第1の孔(101a)が設けられたケース(105)と、
前記ケースの前記相対する2面及び該2面の間の他の面を囲む形状を有し、かつ該他の面の該囲む方向の中央部に相当する位置に第2の孔(102a)を有し、前記第1の孔のそれぞれに挿入される第1の軸部材(101)を支え、前記ケースを傾き可能に保持する第1の保持機構(103)と、
前記第1の軸部材の軸方向と直交する方向から前記第2の孔に挿入される第2の軸部材(102)を支え、第1の保持機構を傾き可能に保持する保持部材を有する第2の保持機構(104)とを備えた三次元形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
2F065AA37
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD14
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065GG24
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL46
, 2F065NN05
, 2F065QQ03
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065SS03
, 2F065SS13
, 2F065UU07
出願人引用 (6件)
-
特開平1-288702号公報
-
特許第3220955号公報
-
超精密形状測定方法及びその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-060997
出願人：森勇藏
-
3次元形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-119993
出願人：オリンパス光学工業株式会社
-
干渉計装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-329711
出願人：フジノン株式会社
-
面形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-016585
出願人：富士ゼロックス株式会社
全件表示
審査官引用 (3件)
-
3次元形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-119993
出願人：オリンパス光学工業株式会社
-
干渉計装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-329711
出願人：フジノン株式会社
-
面形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-016585
出願人：富士ゼロックス株式会社
前のページに戻る
