特許

J-GLOBAL ID：200903009769355645

強誘電体薄膜形成用塗布溶液、強誘電体としての有機金属化合物の合成方法および強誘電体薄膜の配向性を制御する方法。

発明者： 石原 宏 ,  森岡 洋
出願人/特許権者： 東京工業大学長 ,  関東化学株式会社
代理人 (1件)： 葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-053960
公開番号（公開出願番号）：特開2002-255557
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【解決すべき課題】 Laを溶液中に含有せしめ、安価に形成でき、安定なチタン酸ビスマスランタン(BLT)薄膜形成用塗布溶液、有機金属化合物の製造方法、前記塗布溶液の製造方法およびチタン酸ビスマスランタン(BLT)薄膜の配向性を制御する方法を提供する【解決手段】 有機溶剤中に、有機金属化合物を含有することを特徴とする、チタン酸ビスマスランタン(BLT)薄膜形成用塗布溶液。

請求項（抜粋）：

有機溶剤中に、有機金属化合物を含有することを特徴とする、チタン酸ビスマスランタン(BLT)薄膜形成用塗布溶液。

IPC (6件)：

C01G 29/00 ,  C23C 18/12 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792

FI (5件)：

C01G 29/00 ,  C23C 18/12 ,  H01L 27/10 444 B ,  H01L 27/10 444 A ,  H01L 29/78 371

Fターム (32件)：

4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08 ,  4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA44 ,  4K022BA15 ,  4K022BA22 ,  4K022BA28 ,  4K022BA33 ,  4K022CA13 ,  4K022DA06 ,  4K022DB01 ,  4K022DB19 ,  4K022DB24 ,  4K022EA01 ,  5F083FR02 ,  5F083FR06 ,  5F083FR07 ,  5F083GA06 ,  5F083GA21 ,  5F083JA12 ,  5F083JA17 ,  5F083PR23 ,  5F083PR34 ,  5F101BA62 ,  5F101BD02 ,  5F101BH01