特許

J-GLOBAL ID：200903009773967744

角速度センサ

発明者： 森屋 和文
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-280153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114548
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】コリオリ力の検出感度および機械共振周波数の温度特性を改善した角速度センサを提供する。【解決手段】支持固定部2に一対の梁3、4を介して支持される枠型振動体5を、駆動手段5a、5b、7a、7bにより振動させて慣性状態に置き、枠型振動体5に加わるコリオリ力に基づく変位を検出手段5c、5d、7c、7dにより検出する角速度センサにおいて、支持固定部2は、枠型振動体5の中心部であって、熱膨張係数の異なる材料からなる支持基板1の上に形成され、梁3、4は、枠型振動体5を駆動手段により駆動方向に変位させる第1梁部3a、4aと枠型振動体5をコリオリ力の発生方向に変位させる第2梁部3b、4bとからなるT字形状に形成されている角速度センサ。

請求項（抜粋）：

支持固定部に一対の梁を介して支持される枠型振動体を、駆動手段により振動させて慣性状態に置き、前記枠型振動体に加わるコリオリ力に基づく変位を検出手段により検出する角速度センサにおいて、前記支持固定部は、前記枠型振動体の中心部であって、熱膨張係数の異なる材料からなる支持基板の上に形成され、前記梁は、前記枠型振動体を駆動手段により駆動方向に変位させる第1梁部と前記枠型振動体をコリオリ力の発生方向に変位させる第2梁部とからなるT字形状に形成されていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

H01L 29/84 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (3件)：

H01L 29/84 Z ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Fターム (21件)：

2F105AA02 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB04 ,  2F105BB09 ,  2F105BB14 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  2F105CD20 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA02 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA13 ,  4M112FA05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 回転振動型角速度センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-069014   出願人：江刺正喜