特許

J-GLOBAL ID：200903009777721626

高周波高圧電源

発明者： 松永 浩一
出願人/特許権者： 株式会社ハイデン研究所
代理人 (1件)： 原田 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077245
公開番号（公開出願番号）：特開2000-278962
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 急峻で立ち上がり/立ち下がりが速く、パルス幅の狭い高電圧の信号を作ることが可能で、常圧中においても、プラズマ放電を容易に実現できる高周波高圧電源を提供する。【解決手段】 4個の半導体スイッチング素子SW1、SW2、SW3、SW4をHブリッジ接続したHブリッジスイッチング回路1と、これを5つのON/OFFの組み合わせ態様で順次繰り返しスイッチング動作させるスイッチング制御回路2、その出力電圧を昇圧する高圧トランス3とからなる。この高圧トランスは、一次コイルと二次コイルとが、コアを中心として前者を外、後者を内にして互いに間隔をおいて二重円筒状に巻かれ、二次コイルは、複数の相に分けしかも巻始めの相から巻終わりの相に向かって巻数を段階的に少なくして、一次コイルとの間隔を段階的に大きくしてある。

請求項（抜粋）：

第1、第2、第3、第4の4個の半導体スイッチング素子SW1、SW2、SW3、SW4をHブリッジ接続するとともに、各半導体スイッチング素子にダイオードD1、D2、D3、D4をそれぞれ並列接続し、直流電圧を印加されるHブリッジスイッチング回路と、前記4個の半導体スイッチング素子SW1、SW2、SW3、SW4とダイオードD2、D3を次の表1に示す?@、?A、?B、?C、?Dの5つのON/OFFの組み合わせ態様で順次繰り返しスイッチング動作させるスイッチング制御回路と、第1と第2の半導体スイッチング素子SW1、SW2の接続点と第3と第4の半導体スイッチング素子SW3、SW4の接続点との間の出力電圧を昇圧する高圧トランスとからなり、この高圧トランスは、一次コイルと二次コイルとが、コアを中心として前者を外、後者を内にして互いに間隔をおいて二重円筒状に巻かれ、二次コイルは、複数の相に分けしかも巻始めの相から巻終わりの相に向かって巻数を段階的に少なくして、一次コイルとの間隔を段階的に大きくしたことを特徴とする高周波高圧電源。【表1】

IPC (2件)：

H02M 7/5387 ,  C23C 16/505

FI (2件)：

H02M 7/5387 Z ,  C23C 16/505

Fターム (15件)：

4K030FA01 ,  4K030HA07 ,  4K030JA11 ,  4K030JA16 ,  4K030JA20 ,  4K030KA30 ,  4K030KA32 ,  4K030KA49 ,  5H007BB04 ,  5H007BB06 ,  5H007CA02 ,  5H007CB05 ,  5H007CC32 ,  5H007DB01 ,  5H007HA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インバータ回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-244134   出願人：日新電機株式会社
• トランス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-040896   出願人：株式会社村田製作所