荷電ビーム描画装置等の試料温度調整装置及びこの装置に用いられる試料ホルダ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-258798
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097130
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】断熱膨張などにより僅かに温度低下を生じた試料ホルダ13の温度を、短時間に、かつ高精度に所望の値に到達可能にする。【構成】試料ホルダ13の本体13Aを高抵抗導伝性材料で形成し、この本体13に電極15A,15B,16A,16Bを設けて本体13内に電流を流して本体13内で発熱させる。この発熱は本体13内で生じるため試料ホルダ13を効果的に加熱して僅かな温度差を速やかにかつ的確に補償する。このとき電極間に与える電力量を、温度センサ21を有する温度測定装置によって測定されている試料ホルダ13の温度と目標温度との差を補償するのに必要な値に定めれば、より的確な制御が可能になる。さらに、試料ホルダの温度変化の収束曲線を求め、この収束曲線を考慮して加熱するようにすれば、試料ホルダ13を取りまく周囲温度によって定まる収束温度と目標温度が異なる場合でも的確な温度制御が可能になる。

請求項（抜粋）：

試料を試料ホルダにセットして荷電ビームにより描画する装置等の試料温度調整装置において、本体を高抵抗導電性材料で形成された試料ホルダと、この試料ホルダ本体に互いに間隔をおいて取り付けられた少なくとも1対の電極と、この電極間に電位差を与える電源とを具備することを特徴とする荷電ビーム描画装置等の試料温度調整装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (7件)

磁気式バーコード板
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-245032 出願人：日本電気株式会社
特開昭61-239624
特開昭60-171725

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