特許

J-GLOBAL ID：200903009819223737

表面弾性波素子

発明者： 八郷 昭広 ,  板倉 克裕 ,  中幡 英章 ,  藤井 知 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 上代 哲司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-255504
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185989
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 数百MHzから数10GHzに動作周波数を持ち、特に高い動作周波数を選択出来る高効率の、ダイヤモンドを用いた表面弾性波素子を提供する。【解決手段】 本発明の表面弾性波素子は、ダイヤモンド層あるいは基板層とダイヤモンド層と、ZnO圧電体膜層と櫛形電極層と短絡電極層とを備え、ZnO層の厚みをH、表面弾性波の波長をλMとした時、(2π・H/λM)=3.0〜10.0が含まれる事を特徴とする。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド層或いは基板上に形成したダイヤモンド層からなる誘電体薄膜の上にZnO層を積層し、その上に表面弾性波を励起させる櫛形電極を配置してなる表面弾性波素子において、ZnO層の厚みをH、表面弾性波の波長をλMとした時、2π・H/λMの値が、(2π・H/λM)=3.0〜3.2を満たす構造で励起される1次モードの表面弾性波を利用することを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

Fターム (9件)：

5J097AA01 ,  5J097AA06 ,  5J097AA13 ,  5J097DD12 ,  5J097EE08 ,  5J097EE10 ,  5J097FF02 ,  5J097KK05 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-198412
  
• 弾性表面波素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-239189   出願人：住友電気工業株式会社