特許

J-GLOBAL ID：200903009820953382

冷陰極電子源素子の製造方法

発明者： 萩原 淳 ,  薄田 真人 ,  木練 透
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-099953
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273527
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 低電圧駆動が可能でかつ高い放出電流が安定して得られ、冷陰極の加工性に優れ、素子の大面積化が可能な冷電極電子源素子を製造する方法を提供することであり、特に、冷陰極構成材料の選択の自由度を増し、かつ、生産性を著しく向上させることである。【構成】 導電性の冷陰極基材中に、仕事関数が前記冷陰極基材の仕事関数よりも低く、冷陰極の厚さより小さな平均粒径の導電性材料の粒子が分散含有されており、かつ表面に前記粒子が露出している冷陰極を形成するに際し、複合めっき法を用いる。冷陰極表面をエッチングすることにより、前記表面から前記粒子を突出させる。

請求項（抜粋）：

冷陰極を有する冷陰極電子源素子を製造する方法であって、導電性の冷陰極基材中に、仕事関数が前記冷陰極基材の仕事関数よりも低く、冷陰極の厚さより小さな平均粒径の導電性材料の粒子が分散含有されており、かつ表面に前記粒子が露出している冷陰極を形成するに際し、複合めっき法を用いる工程を有する冷陰極電子源素子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-053039
  
• 特開昭54-021926
  
• 特表平5-500585