特許
J-GLOBAL ID:200903009828699248

照明輝度管理方法および光学部材検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松岡 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-208400
公開番号(公開出願番号):特開平9-033342
出願日: 1995年07月24日
公開日(公表日): 1997年02月07日
要約:
【要約】【課題】 Pタイル法、モード法を単独で用いた場合はもとより、これらを組み合せたとしても適切に照明輝度を管理できない場合がある。【解決手段】 画像処理装置40は、CCDカメラ30から出力される入力画像のヒストグラムをとり、これを閾値決定手段41へ出力する。閾値決定手段41は、入力されるヒストグラムに基づいて判別分析法により閾値を決定し、照明輝度管理手段42は、この閾値が所定の範囲に入るよう光源10の照明輝度を管理する。
請求項(抜粋):
照明光源からの光束を被検物である光学部材を介して撮像手段に導き、該撮像手段の出力を画像処理することにより前記被検物の検査する検査装置の照明輝度管理方法において、前記撮像手段から出力される対象画像の輝度分布を画素数で表現したヒストグラムを形成し、該ヒストグラムに基づいて判別分析法による閾値を求め、該閾値に基づいて照明輝度を管理することを特徴とする照明輝度管理方法。
引用特許:
審査官引用 (4件)
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