ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319253
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151704
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ビューファインダー用カラーフイルターの全種類の外観欠陥の検査を自動的にできるコンパクトな自動検査装置を提供する。【構成】ビューファインダー用カラーフイルター4の着色面側には、第一撮像手段1aと、第一撮像手段の受像面上にカラーフイルターの像を結像させる第一結像手段2aと、フイルター面を照明して正反射光像を第一撮像手段に結像させる第一照明手段3aとを有し、非着色面側には、カラーフイルターに対向して、第二撮像手段1bと、第二結像手段2bと、カラーフイルター面を照明して透過光像を第結像手段により第一撮像手段に結像させる第二照明手段3bと、非着色面側を反射暗視野照明し、散乱光を第二撮像手段に結像させ透過暗視野照明し、その回折光ないし散乱光を第一撮像手段に結像させる第三照明手段3cとを有する。

請求項（抜粋）：

透過または反射照明手段を用いて、XY駆動制御されたXYステージ上のビューファインダー用カラーフイルターを撮像し、撮像により得られた信号を画像処理することにより、欠陥を検出する自動検査装置であって、ビューファインダー用カラーフイルターの着色面側には、ビューファインダー用カラーフイルターに対向して、CCD等の画素分割素子からなる第一撮像手段と、該第一撮像手段の受像面上にビューファインダー用カラーフイルターの像を結像させる第一結像手段と、ビューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その正反射光像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる第一照明手段とを有し、ビューファインダー用カラーフイルターの非着色面側には、ビューファインダー用カラーフイルターに対向して、CCD等の画素分割素子からなる第二撮像手段、該第二撮像手段の受像面上にビューファインダー用カラーフイルターの像を結像させる第二結像手段と、ビューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その透過光像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる第二照明手段と、ビューファインダー用カラーフイルターの非着色面側を反射暗視野照明し、散乱光を第二撮像手段に結像させ、ビューファインダー用カラーフイルターを透過暗視野照明し、その回折光ないし散乱光を第一撮像手段に結像させる第三照明手段とを有し、且つ、各撮像手段により、撮像された画像信号を画像処理する画像処理手段とを備えたことを特徴とするビューファインダー用カラーフイルターの検査装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-119769 出願人：凸版印刷株式会社
特開昭62-201335

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