特許

J-GLOBAL ID：200903009873076626

縮小投影露光装置

発明者： 安里 直生
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323338
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153674
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】 フライアイレンズを用いた縮小投影露光装置における解像特性を改善し、かつ露光強度を向上してスループットを改善する。【構成】 フライアイレンズからの光でレチクルを照明し、投影レンズ系により結像を行う縮小投影露光装置において、レチクルとフライアイレンズとの間に、フライアイレンズ6の複数の単体レンズ61に対応して開口された複数の開口73からなる開口部71を有する絞り7を介挿配置する。絞り7は各単体レンズ61からの光を効果的に透過させるため、光強度の増加を図り露光のスループットを改善し、かつ解像特性を改善する。

請求項（抜粋）：

光源からの光を複数の単体レンズを並列配置したフライアイレンズを透過した上でレチクルを照明し、このレチクルのパターンを投影レンズ系により所定の位置に結像させる縮小投影露光装置において、前記フライアイレンズの各単体レンズに対応して開口された複数の開口からなる開口部を有する絞りを前記フライアイレンズとレチクルの間に介挿配置したことを特徴とする縮小投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-028372   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-091662