特許

J-GLOBAL ID：200903009882823612

インプリント用モールドの製造方法

発明者： 上野 勝也 ,  川口 泰秀
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-080548
公開番号（公開出願番号）：特開2008-238502
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】残存する余分な離型剤および溶媒が少ないインプリント用モールドを、低環境負荷で、かつ低コストで製造できる方法を提供する。【解決手段】モールド本体12の表面に離型剤を塗布し、化学結合によって定着させて被覆層14を形成し、モールド10を得る工程と、モールド10を超臨界二酸化炭素で洗浄する工程とを有するインプリント用モールドの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

モールド本体の表面に離型剤を塗布し、化学結合によって定着させて被覆層を形成し、モールドを得る工程と、 モールドを超臨界二酸化炭素で洗浄する工程と を有する、インプリント用モールドの製造方法。

IPC (4件)：

B29C 33/72 ,  B29C 33/38 ,  B29C 59/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B29C33/72 ,  B29C33/38 ,  B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D

Fターム (19件)：

4F202AF01 ,  4F202AM10 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD30 ,  4F202CK11 ,  4F202CM82 ,  4F202CM90 ,  4F202CS02 ,  4F209AJ01 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ11 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC20 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ14 ,  5F046BA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インプリント加工用金型およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-150292   出願人：ダイキン工業株式会社