検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：落合稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127883
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317532
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】試料表面の被膜付き指標をも容易に読み取ることが可能な検査装置を提供する。【構成】試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その後方で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置するとともに、前記光学素子として色消しレンズを用いたものである。

請求項（抜粋）：

試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その後方で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置するとともに、前記光学素子として色消しレンズを用いたことを特徴とする検査装置。

引用特許：

審査官引用 (29件)

特開平2-047541
特開平2-047541
特開昭55-164304

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