特許
J-GLOBAL ID:200903009915336224
多結晶シリコン発泡体およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-116885
公開番号(公開出願番号):特開2002-316813
出願日: 2001年04月16日
公開日(公表日): 2002年10月31日
要約:
【要約】【課題】 粒状多結晶シリコンを得るための破砕時に発生する微粉の発生量が極めて少ない多結晶シリコン発泡体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 内部に気泡が存在し、見かけ密度が2.20g/cm3以下の多結晶シリコン発泡体であって、水素の存在下で溶融させたシリコン融液を液滴として自然落下せしめ、0.2〜3秒の時間内に、上記水素の気泡を液滴中に固定することによって製造することができる。
請求項(抜粋):
内部に気泡が存在し、見かけ密度が2.20g/cm3以下であることを特徴とする多結晶シリコン発泡体。
Fターム (14件):
4G072AA01
, 4G072BB12
, 4G072GG01
, 4G072HH01
, 4G072HH07
, 4G072JJ01
, 4G072LL01
, 4G072MM26
, 4G072MM38
, 4G072MM40
, 4G072NN01
, 4G072QQ20
, 4G072TT01
, 4G072TT04
引用特許:
審査官引用 (3件)
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結晶の製造方法及び製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-126031
出願人:有限会社デジタル・ウェーブ
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特開昭56-140022
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特開昭59-045918
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