特許

J-GLOBAL ID：200903009929276534

ウェーハ処理装置

発明者： 山本 賢一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-203673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050654
出願日： 1996年08月01日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 薬液中のパーティクル蓄積を防止し、また、薬液の温度管理と排出時間の短縮が可能なウェーハ処理装置を提供する。【解決手段】 薬液槽の薬液の下方から上方への平行な流れでパーティクルを薬液槽外へ排出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

薬液槽の薬液の下方から上方への平行な流れでパーティクルを薬液槽外へ排出することを特徴とするウェーハ処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/08 ,  B08B 3/10

FI (4件)：

H01L 21/304 341 T ,  H01L 21/304 341 S ,  B08B 3/08 A ,  B08B 3/10 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-124824
  
• 特開昭60-229339
  
• 液処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-028368   出願人：関西日本電気株式会社