研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042432
公開番号（公開出願番号）：特開平10-235558
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】本発明は、半導体ウェーハを研磨する研磨装置に関し、ターンテーブルのチャックテーブルを回転駆動させるために必要なケーブルの配線方法を改善することにある。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル12と、該チャックテーブルが2以上配設されたターンテーブル10と、該チャックテーブルに被加工物を搬出入する被加工物搬出入領域と、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨領域と、を少なくとも含み、該ターンテーブルは、チャックテーブルを被加工物搬出入領域と研磨領域とに位置付ける研磨装置1Aであって、該研磨領域の下部には、該ターンテーブルの回転によって位置付けられたチャックテーブルに回転力を伝達する駆動手段が配設されており、該チャックテーブルと該駆動手段とはクラッチ手段30,31によって着脱することとした研磨装置。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが2以上配設されたターンテーブルと、該チャックテーブルに被加工物を搬出入する被加工物搬出入領域と、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨領域と、を少なくとも含み、該ターンテーブルは、チャックテーブルを被加工物搬出入領域と研磨領域とに位置付ける研磨装置であって、該研磨領域の下部には、該ターンテーブルの回転によって位置付けられたチャックテーブルに回転力を伝達する駆動手段が配設されており、該チャックテーブルと該駆動手段とはクラッチ手段によって着脱すること、を特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 Z , H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-185357
タレツト型石材研磨機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-295147 出願人：栗原情伍
特開昭52-039051

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