ガラス板の再生方法及び洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121910
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307038
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ガラス板の品質を劣化させずに、効率良く再生し得るガラス板の再生方法及び洗浄装置の実現を目的とするものである。【構成】光デイスクのマスタリング工程で使用したガラス板に残存している残存物質を化学的に溶解除去し、残存物質が溶解除去されたガラス板の表面に、研磨粒子を含まないエツチング速度の遅いエツチング剤を供給しながらガラス板の表面を所定のスクラブ手段で擦るようにして洗浄するようにしたことにより、例えば薬品だけでは完全に溶解除去できず、かつ超音波洗浄や高圧ジエツト水等による洗浄では除き難い有機性の汚れを実用上十分に除去することができ、かくしてガラス板を品質を劣化させずに効率良く再生し得るガラス板の再生方法及び洗浄装置を実現できる。

請求項（抜粋）：

光デイスクのマスタリング工程で使用したガラス板を所定状態に再生するガラス板の再生方法において、上記マスタリング工程において上記ガラス板に付着し、上記ガラス板の表面上に残存している残存物質を化学的に溶解除去し、上記残存物質が溶解除去された上記ガラス板の上記表面に、研磨粒子を含まないエツチング速度の遅いエツチング剤を供給しながら上記ガラス板の上記表面を所定のスクラブ手段でスクラブ洗浄することを特徴とするガラス板の再生方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , C03C 23/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

基板の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-148692 出願人：ソニー株式会社
特開平2-071438
特開昭62-235236

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