特許
J-GLOBAL ID：200903009965725523
放電イオン化検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-233907
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133000
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】最小検出可能レベルを低下させるとともに良好な信号号対雑音比を維持できる放電イオン化検出器。【解決手段】本発明は希ガスの準安定原子や光子を放電チャンバ内で発生させ、分析物のイオン化を助長するために迅速にイオン化チャンバへ移動させる。好適な実施例では、放電とイオン化チャンバの間にフローガイドを設け、放電源に近接して設置された複数の開口を介して光子やヘリウム等の希ガスの準安定原子を搬送中に損失することなく、送り込むことができる。
請求項（抜粋）：
放電チャンバと、前記放電チャンバに隣接して配置されたイオン化チャンバと、分析物を前記イオン化チャンバ内に供給する手段と、前記イオン化チャンバに関係して配置され、複数の準安定原子を生成するために放電をもたらす手段と、前記放電から前記イオン化チャンバ内の分析物への準安定原子を急速に移動させ、それによって分析物のイオン化を向上させる手段とを具備することを特徴とする放電イオン化検出器。
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開平3-150460
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気体中の不純物濃度の測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-139773
出願人：ロジテックシステム株式会社
引用文献：
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