特許

J-GLOBAL ID：200903009988558713

光学素子およびその製造方法

発明者： 山田 秀則 ,  山田 高幸 ,  高橋 睦也
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356565
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180606
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 結晶構造および材料の選択の自由度が高く、3次元屈折率周期構造の形成が可能な光学素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板10の表面にSi薄膜を着膜し、Si薄膜をパターニングして光学素子を構成する各層の薄膜120a,120bを一括して形成する。パターニングされた薄膜120a,120bは、互いにピッチp/2だけ縦および横方向にずれた六角形穴121からなるパターンAおよびパターンBを各々有する。パターンAの薄膜120aとパターンBの薄膜120bを交互に積層して接合することにより、結晶構造の変化により屈折率が変化する3次元屈折率周期構造を有する光学素子が得られる。

請求項（抜粋）：

複数の層からなり、光波長と同一あるいはそれ以下の周期で屈折率が変化する屈折率周期構造を有する光学素子において、前記複数の層に対応した2次元パターンを有し、互いに接合し積層される複数の薄膜を備えたことを特徴とする光学素子。

IPC (5件)：

G02B 5/00 ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 5/28 ,  G02B 5/30

FI (5件)：

G02B 5/00 Z ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 5/28 ,  G02B 5/30

Fターム (64件)：

2H042AA03 ,  2H042AA04 ,  2H042AA06 ,  2H042AA19 ,  2H042AA30 ,  2H042AA31 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA21 ,  2H048GA33 ,  2H048GA62 ,  2H049BA06 ,  2H049BA23 ,  2H049BA45 ,  2H049BB06 ,  2H049BB62 ,  2H049BC08 ,  2H049BC23 ,  2H049BC25 ,  4F100AB11A ,  4F100AB11B ,  4F100AK49C ,  4F100AL06C ,  4F100AR00A ,  4F100AR00B ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100CC00C ,  4F100DC11A ,  4F100DC11B ,  4F100EH461 ,  4F100EH66B ,  4F100EH662 ,  4F100EJ152 ,  4F100EJ681 ,  4F100GB41 ,  4F100GB90 ,  4F100JK15A ,  4F100JL14C ,  4F100JM02B ,  4F100JN00A ,  4F100JN00B ,  4F100YY00A ,  4F213AA40 ,  4F213AD02 ,  4F213AD24 ,  4F213AD27 ,  4F213AE10 ,  4F213AF00 ,  4F213AG01 ,  4F213AG03 ,  4F213AH73 ,  4F213WA25 ,  4F213WA58 ,  4F213WA85 ,  4F213WA87 ,  4F213WB01 ,  4F213WB22 ,  4F213WL02 ,  4F213WL27 ,  4F213WL67 ,  4F213WL95

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 積層材料および光機能素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-122556   出願人：信越半導体株式会社
• 特開昭53-050464
  
• 自己導波光回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-221243   出願人：日本電気株式会社