特許

J-GLOBAL ID：200903010096928107

レーザ走査装置及び形状測定装置

発明者： 石井 正美 ,  久光 豊 ,  関本 清英
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361339
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190615
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光の走査を効率よく行えるレーザ走査装置及び形状測定装置を提供する。【解決手段】 レーザ発振器1から出射されるレーザ光Lを対象物17へ照射する回動ミラー2を、第1のサーボモータ3によってレーザ光Lの光軸を中心に回動させるとともに、第2のサーボモータ4によってレーザ光Lの光軸に対して直交する軸を中心に回動させて、レーザ光Lを広範囲にわたって連続的に高速走査する。また、モータコントローラ7でサーボモータ3,4を制御して、CPU22の負担を軽減する。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から出射されるレーザ光が反射面に斜入射し且つレーザ光を対象物へ照射し得る回動ミラーと、レーザ光の光軸を中心として回動ミラーを回動させる第1のサーボモータと、レーザ光の光軸に交差する方向へ延びる軸を中心として回動ミラーを回動させる第2のサーボモータと、レーザ光の光軸を中心とした回動ミラーの回動位置を検出する第1の位置検出器と、レーザ光の光軸に交差する方向へ延びる軸を中心とした回動ミラーの回動位置を検出する第2の位置検出器と、レーザ光の光軸を中心とした回動ミラーの回動データ信号に基づき第1のサーボモータを作動させ且つレーザ光の光軸に交差する方向へ延びる軸を中心とした回動ミラーの回動データ信号に基づき第2のサーボモータを作動させるモータコントローラとを備えてなることを特徴とするレーザ走査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G02B 26/10 101

FI (3件)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 C ,  G02B 26/10 101

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭52-138405
  
• 特開平4-274707
  
• 双方向空間光通信装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-297187   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (1件)

• 特開昭52-138405