特許

J-GLOBAL ID：200903010131030011

吸引ノズル装置

発明者： 岩崎 元明 ,  滝沢 祐二
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200468
公開番号（公開出願番号）：特開2001-079505
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】パーティクル径及び形状に応じ、効率良くパーティクルを捕集することができる。【解決手段】基板に向かって流体を吹きつける吹き出しノズルを設け、前記基板の上に付着したパーティクルを前記吹き出しノズルからの流体によって浮上させ、浮上したパーティクルを吸引ノズルによって吸引する吸引ノズル装置において、前記吹き出しノズルの外周部に吸引ノズルを2重管構造に設けると共に、前記吸引ノズルによって吸引したパーティクルを捕集するフィルタを設けたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板に向かって流体を吹きつける吹き出しノズルを設け、前記基板の上に付着したパーティクルを前記吹き出しノズルからの流体によって浮上させ、浮上したパーティクルを吸引ノズルによって吸引する吸引ノズル装置において、前記吹き出しノズルの外周部に吸引ノズルを2重管構造に設けると共に、前記吸引ノズルによって吸引したパーティクルを捕集するフィルタを設けたことを特徴とした吸引ノズル装置。

IPC (2件)：

B08B 5/00 ,  H01L 21/304 643

FI (2件)：

B08B 5/00 A ,  H01L 21/304 643 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 異物除去方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-189031   出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
• 特開平1-099676