特許
J-GLOBAL ID:200903010161577490

超耐食性合金及びその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-319260
公開番号(公開出願番号):特開2000-144380
出願日: 1998年11月10日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 濃厚な酸にも耐え得る超耐食性を備えたアモルファス合金又はナノ結晶合金よりなる超耐食性合金を、安価なスパッターターゲット基体を用いて容易に作製する。【解決手段】 Ta,Nb,Zr,Tiの少なくとも1種7〜87原子%と、Cr,Mo,Wの少なくとも1種5〜87原子%と残部75原子%以下のNi或いはFe及びNiよりなる超耐食性合金。この超耐食性合金を非磁性の市販合金をターゲット基体4とし、これに添加元素の小片5,6を載せたり埋め込んだりしてなるターゲットを用いるスパッター法で作製する。
請求項(抜粋):
Ta,Nb,Zr及びTiよりなる群から選ばれる1種又は2種以上の元素:7〜87原子%と、Cr,Mo及びWよりなる群から選ばれる1種又は2種以上の元素:5〜87原子%とを含み、残部が実質的に75原子%以下のNi或いはFe及びNiよりなる超耐食性合金であって、非磁性の金属又は合金をターゲットの基体として用いるスパッター法で作製されたアモルファス合金又はナノ結晶合金よりなることを特徴とする超耐食性合金。
IPC (17件):
C23C 14/14 ,  C22C 1/00 ,  C22C 14/00 ,  C22C 16/00 ,  C22C 19/05 ,  C22C 27/02 102 ,  C22C 27/02 103 ,  C22C 27/04 ,  C22C 27/04 101 ,  C22C 27/06 ,  C22C 38/00 301 ,  C22C 38/00 302 ,  C22C 38/50 ,  C22C 45/02 ,  C22C 45/04 ,  C22C 45/10 ,  C23C 14/35
FI (17件):
C23C 14/14 E ,  C22C 1/00 A ,  C22C 14/00 Z ,  C22C 16/00 ,  C22C 19/05 Z ,  C22C 27/02 102 Z ,  C22C 27/02 103 ,  C22C 27/04 ,  C22C 27/04 101 ,  C22C 27/06 ,  C22C 38/00 301 F ,  C22C 38/00 302 Z ,  C22C 38/50 ,  C22C 45/02 Z ,  C22C 45/04 Z ,  C22C 45/10 ,  C23C 14/35 B
Fターム (14件):
4K029AA02 ,  4K029BA21 ,  4K029BA25 ,  4K029BB07 ,  4K029BB10 ,  4K029BC01 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC16 ,  4K029DC21 ,  4K029DC39 ,  4K029JA03
引用特許:
審査官引用 (7件)
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