特許
J-GLOBAL ID：200903010162518357
ウエハへの半田ボールマウント装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
仁科 勝史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-132695
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312701
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】ウエハ上の不良品チップに対する半田ボールのマウントをキャンセルし、半田ボールの無駄を防止すると共にウエハ上の複数個のチップに対して同時に半田ボールをマウントすること。【解決手段】本発明は、次の手段を採用した半田ボールマウント装置である。第1に、半田ボール吸着穴の配列パターンが異なる複数のマウントヘッドを有する。第2に、該複数のマウントヘッドを各々単独で昇降可能に保持する。第3に、ウエハ上のチップ配置パターン又はウエハ上のチップ配置パターンと不良品チップ位置データに基づき上記複数のマウントヘッドの昇降を制御して、半田ボールをウエハ上のチップにマウントする。
請求項（抜粋）：
半田ボール吸着穴の配列パターンが異なる複数のマウントヘッドを有し、該複数のマウントヘッドを各々単独で昇降可能に保持し、ウエハ上のチップ配置パターン又はウエハ上のチップ配置パターンと不良品チップ位置データに基づき上記複数のマウントヘッドの昇降を制御して、半田ボールをウエハ上のチップにマウントするウエハへの半田ボールマウント装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/92 604 H
, B25J 15/06 K
, H01L 21/92 604 Z
