反射防止膜および光学素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349920
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156507
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 365nmあるいは436nm付近の波長領域に対して低反射でブロードバンドの有効かつ良好な反射防止特性を有する反射防止膜及び光学素子を提供する。【解決手段】基体上に形成される4層構造の多層膜であって、基体側から順に第1及び第3層は、320〜450nmの波長範囲における屈折率が2.10〜2.40の高屈折率層であり、第2及び第4層は、同屈折率が1.42〜1.50の低屈折率層であり、第1〜4層の光学的膜厚をそれぞれd1〜d4と表し、同波長範囲の使用対象波長をλ0と表したとき、0.05λ0≦d1≦0.07λ0、0.05λ0≦d2≦0.11λ0、0.50λ0≦d3≦0.56λ0、0.24λ0≦d4≦0.26λ0である反射防止膜。また上記構成において第2層を中屈折率層に替えた反射防止膜。これら反射防止膜が基体上に形成された光学素子。

請求項（抜粋）：

基体上に形成される4層構造の多層膜であって、基体側から順に数えて第1層および第3層は、波長320nmから450nmの範囲における屈折率が2.10以上2.40以下である高屈折率層であり、第2層および第4層は、波長320nmから450nmの範囲における屈折率が1.42以上1.50以下である低屈折率層であり、かつ、該第1層から第4層の光学的膜厚をそれぞれd1、d2、d3およびd4と表し、波長320nmから450nmの範囲の使用対象波長をλ0と表したとき、0.05λ0≦d1≦0.07λ00.05λ0≦d2≦0.11λ00.50λ0≦d3≦0.56λ00.24λ0≦d4≦0.26λ0である反射防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 , C03C 17/34

FI (2件)：

C03C 17/34 Z , G02B 1/10 A

Fターム (19件)：

2K009AA07 , 2K009BB02 , 2K009BB04 , 2K009CC03 , 2K009DD03 , 2K009DD04 , 4G059AA01 , 4G059AB01 , 4G059AB09 , 4G059AB11 , 4G059AB13 , 4G059AC04 , 4G059EA01 , 4G059EA05 , 4G059EB03 , 4G059EB04 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12

引用特許：

出願人引用 (4件)

反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-277831 出願人：キヤノン株式会社
特開昭63-285501
特開平2-304501

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審査官引用 (1件)

反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-277831 出願人：キヤノン株式会社

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