特許
J-GLOBAL ID：200903010221736177

めっき装置及びめっき液組成の管理方法

発明者：
福永 明

福永 明 について

, 
長澤 浩

長澤 浩 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-362559
公開番号（公開出願番号）：特開2002-167699
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：
【要約】【課題】 めっき液組成の維持管理を、めっき液中の添加剤成分を直接的に分離定量して高精度に行うようにする。【解決手段】 めっき液16を保持するめっき槽18を有するめっきユニット10と、サンプリングしためっき液中の添加剤成分を液体クロマトグラフィ装置24で分離定量し、各添加剤成分毎の定量値と各添加剤成分毎に予め設定した所定濃度とを比較して信号を出力するめっき液モニタユニット12と、複数の添加剤タンク60a,60b,60cを備えめっき液モニタユニット12からの信号に基づいて添加剤タンク60a,60b,60c内の添加剤成分をめっき液16に補給する添加剤補給ユニット14を有する。
請求項（抜粋）：
めっき液を保持するめっき槽を有するめっきユニットと、サンプリングしためっき液中の添加剤成分を液体クロマトグラフィ装置で分離定量し、各添加剤成分毎の定量値と各添加剤成分毎に予め設定した所定濃度とを比較して信号を出力するめっき液モニタユニットと、複数の添加剤タンクを備え、前記めっき液モニタユニットからの信号に基づいて前記添加剤タンク内の添加剤成分溶液をめっき液に補給する添加剤補給ユニットを有することを特徴とするめっき装置。
IPC (5件)：
C25D 21/14 ,  G01N 33/20 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768
FI (5件)：
C25D 21/14 B ,  G01N 33/20 Q ,  H01L 21/288 E ,  H01L 21/88 M ,  H01L 21/90 A
Fターム (37件)：
2G055AA07 ,  2G055BA01 ,  2G055CA22 ,  2G055CA23 ,  2G055CA24 ,  2G055CA25 ,  2G055CA27 ,  2G055CA30 ,  2G055EA02 ,  2G055EA06 ,  2G055EA08 ,  2G055FA02 ,  2G055FA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB32 ,  4M104DD52 ,  4M104FF09 ,  4M104FF16 ,  4M104HH20 ,  5F033HH11 ,  5F033HH32 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ32 ,  5F033KK07 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN31 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ07 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR04 ,  5F033XX34
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • めっき装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-340576   出願人：株式会社荏原製作所
  • 特開昭60-207056
  • 界面活性剤の一斉分析方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-151156   出願人：花王株式会社
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審査官引用 (4件)
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