特許
J-GLOBAL ID：200903010257313213
走査プローブ顕微鏡用探針の作製方法及びそのための装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251486
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081381
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 ナノメートルサイズの先端突起を有する探針を真空下で簡便に作り出すことができる走査プローブ顕微鏡用探針の作製方法及びそのための装置を提供する。【解決手段】 走査プローブ顕微鏡用探針の材料に、この探針材料よりイオンスパッタ速度が遅いダイアモンド粉末3を付着させ、このダイアモンド粉末3が付着した状態で、このダイアモンド粉末3が無くなるまで、或いはそれ以上に、前記探針材料をイオンスパッタすることにより、針状突起6を形成する。
請求項（抜粋）：
走査プローブ顕微鏡用探針の材料に、該探針材料よりイオンスパッタ速度が遅い微粒子を付着させ、該微粒子が付着した状態で、該微粒子が無くなるまで、或いはそれ以上に、前記探針材料をイオンスパッタすることにより針状突起を形成することを特徴とする走査プローブ顕微鏡用探針の作製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 G
