特許

J-GLOBAL ID：200903010347681670

真空容器と真空排気方法及びEUV露光装置

発明者： 村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-165443
公開番号（公開出願番号）：特開2009-004647
出願日： 2007年06月22日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【課題】装置の大型化を回避しつつ、迅速に真空引きが行える真空装置等及びその真空排気方法を提供することを目的とする。【解決手段】所定の真空度において真空容器内の状態をモニタ-する計測手段と、所定の真空度より低い真空度において真空容器内の気体を排出する第一の排出手段とを択一的に取り付け可能な共用取り付けポ-トを備える真空容器とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の真空度において真空容器内の状態をモニタ-する計測手段と、 前記所定の真空度より低い真空度において前記真空容器内の気体を排出する第一の排出手段と、 を択一的に取り付け可能な共用取り付けポ-トを備える ことを特徴とする真空容器。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 521

Fターム (10件)：

5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  5F046DA26 ,  5F046DB03 ,  5F046DC14 ,  5F046GA07 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 真空容器および真空容器からの排気方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-175490   出願人：三菱重工業株式会社