特許
J-GLOBAL ID：200903010366494481

レーザ加工装置及び加工方法

発明者：
礒 圭二

礒 圭二 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-173244
公開番号（公開出願番号）：特開2001-347388
出願日： 2000年06月09日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 紫外線領域の波長のレーザビームを用い、加工時間を短くすることが可能なレーザ加工装置及び加工方法を提供する。【解決手段】 制御手段13が、周期的な波形を有する第1の契機信号と、第1の契機信号に同期した周期的な波形を有する第2の契機信号とを出力する。第1のレーザ光源1が、第1の契機信号に同期して、紫外線領域の波長を有する第1のパルスレーザビームpl1を出射する。第2のレーザ光源2が、第2の契機信号に同期して、紫外線領域の波長を有する第2のパルスレーザビームpl2を出射する。集光光学系11が、第1のパルスレーザビームpl1と第2のパルスレーザビームpl2とを、同一点に集光する。集光光学系で集光されたパルスレーザビームpl5が照射される位置に、保持手段12が、被加工物20を保持する。
請求項（抜粋）：
周期的な波形を有する第1の契機信号と、該第1の契機信号に同期した周期的な波形を有する第2の契機信号とを出力する制御手段と、前記第1の契機信号に同期して、紫外線領域の波長を有する第1のパルスレーザビームを出射する第1のレーザ光源と、前記第2の契機信号に同期して、紫外線領域の波長を有する第2のパルスレーザビームを出射する第2のレーザ光源と、前記第1のパルスレーザビームと、前記第2のパルスレーザビームとを、同一点に集光する集光光学系と、前記集光光学系で集光されたパルスレーザビームが照射される位置に被加工物を保持する保持手段とを有するレーザ加工装置。
IPC (5件)：
B23K 26/06 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/04 ,  H05K 3/00 ,  B23K101:42
FI (6件)：
B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 A ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/04 A ,  H05K 3/00 N ,  B23K101:42
Fターム (6件)：
4E068AF01 ,  4E068CA06 ,  4E068CA09 ,  4E068CD02 ,  4E068CD05 ,  4E068DA11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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