特許

J-GLOBAL ID：200903010402403536

位置測定装置

発明者： ヴオルフガング・ホルツアプフエル ,  ウルリッヒ・ベンナー
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-382244
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194188
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 1つのインクリメンタルトラックの走査からできる限り多くの相異なる分解能のインクリメンタル信号を提供するコンパクトな構造の位置測定装置を提供することである。【解決手段】 測定尺10と、測定尺10に対して相対的に測定方向xに移動可能な走査ユニット20とから成る位置測定装置であって、その際測定尺10上に2つの相異なる目盛周期TP1 、TP2 を有するインクリメンタル目盛を有する、測定方向に延びるインクリメンタルトラック13が配設されており、走査ユニット20は、インクリメンタル検出器配列24.1,24.2を有し、その際インクリメンタル検出器配列は、第1の粗い信号周期SP1 を備えたインクリメンタル信号NC1の発生のために並びに第2の微細な信号周期SP2 を有するインクリメンタル信号INC2の発生のために好適である、前記位置測定装置。

請求項（抜粋）：

測定尺(10;100)と、測定尺(10;100)に対して相対的に測定方向(x)に移動可能な走査ユニット(20;200)とから成る位置測定装置であって、その際測定尺(10;100)上に2つの相異なる目盛周期(TP1 、TP2 )を有するインクリメンタル目盛を有する、測定方向(x)に延びるインクリメンタルトラック(13;130)が配設されており、走査ユニット(20;200)は、インクリメンタル検出器配列(24.1,24.2;240.1)を有し、その際インクリメンタル検出器配列(24.1,24.2;240.1)は、第1の粗い信号周期(SP1)を備えたインクリメンタル信号(NC1)の発生のために並びに第2の微細な信号周期(SP2 )を有するインクリメンタル信号(INC2)の発生のために好適である、前記位置測定装置。

IPC (2件)：

G01D 5/34 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 11/00 A ,  G01D 5/34 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• アブソリュートエンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-333432   出願人：株式会社ニコン
• 光学変換器および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-037147   出願人：バウメルエレクトリックアクチエンゲゼルシャフト
• 特開平4-076418