光学変換器および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037147
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286861
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】高い精度の光学変換器およびその製造方法を提供する。【構成】本発明の光学変換器の集積回路状の感光表面は4つの正弦波状表面を有するように、幾何学的に形成される。前記幾何学的に形成された表面と幾何学的に相関付けられた光と陰のパターンを前記感光表面に投影すると、電気信号列が得られ、前記集積回路またはその表面の外形の精度でこれに補間を行い、測定または位置信号として送出する。付加感光表面1Bが設けられ、前記表面の幾何学的構造と幾何学的に相関つけて形成された光と陰のパターンBを感光表面上に投影した時に、電気信号列が得られるように、幾何学的に形成されている。この電気信号列は、付加コードとして、ある絶対値に対応し、測定または位置信号として中継可能である。前記感光表面の電気信号を結合し、それらを共通位置信号に形成する手段1Cが設けられている。

請求項（抜粋）：

好ましくは光学変換器において、スキャン用ヘッドの固体測定部(solid measue)または測定手段に対する変位を測定しかつ利用する方法であって、集積回路の形状の少なくとも1つの感光アレイ表面(例えば、正弦波状)上に、前記表面の幾何学的構造と幾何学的に相関関係のある光と陰とのパターン(同一周期のバー・パターン)を投影し、前記感光アレイの表面の幾何学的形状によって、前記相関関係にある光と陰のパターンを前記表面に投影した時、それらの感光性の結果として、前記集積回路またはその感光表面の外形の精度で補間できるように、そして移動の範囲を表わす測定または位置信号として使用可能となるように、電気信号列が生成されることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01D 5/249 , G01D 5/36

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭58-157203
光学式基準位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-228785 出願人：株式会社コパル
ピツチ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253923 出願人：三菱レイヨン株式会社

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