分光エリプソメータ、膜厚測定装置および分光エリプソメータのフォーカス調整方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松阪正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-223897
公開番号（公開出願番号）：特開2009-058259
出願日： 2007年08月30日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：

【課題】分光エリプソメータにおいて、高精度なフォーカス調整を実現する。【解決手段】分光エリプソメータ1では、光源31からの光が、照明部3の光学系を介して基板9の測定面91へと傾斜しつつ入射し、受光部4の光学系を介して受光デバイス422へと導かれ、受光デバイス422により取得された測定面91からの反射光の分光強度に基づいて偏光解析が行われる。また、分光エリプソメータ1のフォーカス調整では、受光デバイス422により取得された測定面91からの反射光の所定の波長帯の合計光量に基づいて測定面91のフォーカス位置が求められる。このように、分光エリプソメータ1では、偏光解析に利用される光学系とフォーカス調整に利用される光学系とを共通とすることにより、温度変化等による光学系の変化の影響を排除し、より高精度なフォーカス調整を実現することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

分光エリプソメータであって、測定面を有する対象物を保持する保持部と、前記対象物を前記保持部と共に前記測定面に垂直な方向に移動する昇降機構と、偏光した光を前記測定面へと傾斜しつつ入射させる照明部と、前記測定面からの前記偏光した光の反射光が入射する検光子と、前記検光子を経由した前記反射光を分光する分光デバイスと、前記分光デバイスからの分光光を受光して前記反射光の分光強度を取得する受光デバイスと、前記受光デバイスからの出力に基づいて前記反射光の波長毎の偏光状態を取得する偏光状態取得部と、前記測定面がフォーカス位置から上下にずれた際に前記反射光の前記分光デバイスへの入射を制限する入射制限部と、前記昇降機構により前記測定面を移動しつつ前記受光デバイスにより受光される光の少なくとも一部の波長帯の合計光量を求めることにより、前記測定面の昇降位置と前記合計光量との関係を取得するフォーカス情報取得部と、を備えることを特徴とする分光エリプソメータ。

IPC (3件)：

G01N 21/21 , G01J 3/447 , G01J 4/04

FI (3件)：

G01N21/21 Z , G01J3/447 , G01J4/04 Z

Fターム (34件)：

2G020BA17 , 2G020CA15 , 2G020CB04 , 2G020CB32 , 2G020CB43 , 2G020CC05 , 2G020CC13 , 2G020CC42 , 2G020CC63 , 2G020CD12 , 2G020CD15 , 2G020CD37 , 2G020CD38 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE11 , 2G059HH02 , 2G059JJ02 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ19 , 2G059JJ30 , 2G059LL01 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059PP04

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5608526号明細書
分光エリプソメータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-395259 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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