特許

J-GLOBAL ID：200903057883491413

分光エリプソメータ

発明者： 堀江 正浩
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-395259
公開番号（公開出願番号）：特開2005-003666
出願日： 2003年11月26日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】測定精度の高い分光エリプソメータを提供する。【解決手段】分光エリプソメータ1の照明部3は測定用光源部31を有し、ポーラライザ32により測定用光源部31からの光から偏光光が得られて基板9上へと導かれる。また、受光部4は基板9からの偏光光の反射光が入射するアナライザ41を有し、アナライザ41を経由した反射光が分光器42へと入射して波長毎の偏光状態が取得される。分光エリプソメータ1では、測定用光源部31とポーラライザ32との間、および、アナライザ41と分光器42との間のそれぞれにのみミラーが配置される。これにより、分光エリプソメータ1ではミラーにより偏光光やその反射光の偏光状態が変化せず、精度の高い測定が実現される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

分光エリプソメータであって、 偏光した光を対象物へと導く照明部と、 前記対象物からの前記偏光した光の反射光を受光して前記反射光の波長毎の偏光状態を取得する受光部と、 を備え、 前記照明部が、 光源部と、 前記光源部からの光から前記偏光した光を得る偏光素子であるポーラライザと、 を有し、 前記光源部から前記対象物に至る光路上において、少なくとも1つの反射ミラーが前記光源部と前記ポーラライザとの間のみに配置されることを特徴とする分光エリプソメータ。

IPC (3件)：

G01J4/04 ,  G01B11/06 ,  G01N21/21

FI (3件)：

G01J4/04 Z ,  G01B11/06 Z ,  G01N21/21 Z

Fターム (40件)：

2F065AA30 ,  2F065CC31 ,  2F065DD02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF49 ,  2F065GG07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065MM04 ,  2F065MM14 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG04 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第5910842号明細書
  

審査官引用 (1件)

• 偏光解析装置及び偏光解析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-195395   出願人：松下電器産業株式会社