特許

J-GLOBAL ID：200903010426930618

多結晶シリコン鋳造用部材

発明者： 高木 俊 ,  野呂 匡志
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-092562
公開番号（公開出願番号）：特開2004-298897
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】耐久性に優れ、繰り返し使用することができ、簡便に作製することができる多結晶シリコン鋳造用部材を提供する。【解決手段】炭素基材と前記炭素基材の表面に形成された窒化シリコン層とからなる多結晶シリコン鋳造用部材であって、前記炭素基材の前記窒化シリコン層と接する表面におけるJIS B 0601に基づく算術平均粗さRaは、1〜15μmであることを特徴とする多結晶シリコン鋳造用部材。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

炭素基材と前記炭素基材の表面に形成された窒化シリコン層とからなる多結晶シリコン鋳造用部材であって、 前記炭素基材の前記窒化シリコン層と接する表面におけるJIS B 0601に基づく算術平均粗さRaは、1〜15μmであることを特徴とする多結晶シリコン鋳造用部材。

IPC (7件)：

B22C3/00 ,  B22C1/00 ,  B22C9/06 ,  B22D25/04 ,  C01B33/02 ,  C04B41/87 ,  C23C4/10

FI (8件)：

B22C3/00 H ,  B22C3/00 B ,  B22C1/00 D ,  B22C9/06 D ,  B22D25/04 Z ,  C01B33/02 E ,  C04B41/87 S ,  C23C4/10

Fターム (19件)：

4E092AA01 ,  4E092AA05 ,  4E092BA11 ,  4E092FA01 ,  4E092FA10 ,  4E092GA02 ,  4E093NB08 ,  4G072AA01 ,  4G072BB12 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072NN02 ,  4G072RR30 ,  4G072UU02 ,  4K031AA03 ,  4K031AB02 ,  4K031BA01 ,  4K031CB46 ,  4K031GA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 結晶成長用ルツボおよび結晶成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-304879   出願人：シャープ株式会社
• 特開昭63-215506