特許

J-GLOBAL ID：200903041037434241

結晶成長用ルツボおよび結晶成長方法

発明者： 涌田 順三
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-304879
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107063
出願日： 2000年10月04日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】 結晶品質の向上、歩留り向上および結晶成長速度の改善を図ることができる結晶成長用ルツボおよび結晶成長方法を提供すること。【解決手段】 結晶成長用ルツボ10は、上面に開口部を有し、4つの側壁4,5,6,7および底壁8とから成る四角箱型形状であり、外部の全面には連続した凹凸形状を有する。前記ルツボ10の外部の連続した凹凸形状は、側壁4,5,6,7の外部では、底壁8に垂直な方向(縦方向)に延びる複数の凸条11を平行に連続して形成し、凸条11と凹溝12とを各側壁4,5,6,7の全面に連続して形成される。また、底壁8では、側壁4,6に平行な方向に延びる複数の凸条11が平行に連続して全面に形成される。また、ルツボ10の内部の空間は立方体形状であり、この内部にシリコン材料を充填し、シリコン材料を融解させ、冷やすことでシリコンインゴットの結晶成長を行う。

請求項（抜粋）：

キャスト法によるシリコン結晶の成長に用いる結晶成長用ルツボにおいて、外部の少なくとも一部に連続した凹凸形状が形成されることを特徴とする結晶成長用ルツボ。

IPC (2件)：

F27B 14/10 ,  C01B 33/02

FI (2件)：

F27B 14/10 ,  C01B 33/02 Z

Fターム (10件)：

4G072AA01 ,  4G072BB11 ,  4G072BB12 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072MM38 ,  4G072UU01 ,  4K046AA01 ,  4K046BA05 ,  4K046CB15

引用特許：

審査官引用 (1件)

• シリコン結晶成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-022866   出願人：シャープ株式会社, 昭和アルミニウム株式会社