特許

J-GLOBAL ID：200903010450295400

選択作用性透過面を有するガス流路及びその透過面の製法

発明者： ヴェルナー グローセ ブライ ,  トーマス ベーム ,  ウルリッヒ デブラー ,  マンフレート ラッハー ,  トーマス ツェッテラー
出願人/特許権者： ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-502561
公開番号（公開出願番号）：特表平11-507587
出願日： 1996年06月01日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】本発明は、選択作用性の、石英、石英ガラス、パイレックスガラス等からなる透過面を有するガス流路(1)に関する;一方で比較的薄く、他方で比較的大きな圧力差で供給可能な透過面を製造するために、選択作用性透過面を、多数の隣接する窓(5)から構成することを提案している。

請求項（抜粋）：

石英、石英ガラス、パイレックスガラス等からなる選択作用性透過面を有するガス流路(1)において、選択作用性透過面が多数の隣接する窓(5)からなることを特徴とする、石英、石英ガラス、パイレックスガラス等からなる選択作用性透過面を有するガス流路(1)。

IPC (4件)：

B01D 53/22 ,  B01D 69/00 ,  B01D 71/02 500 ,  G01M 3/20

FI (4件)：

B01D 53/22 ,  B01D 69/00 ,  B01D 71/02 500 ,  G01M 3/20 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 真空ポンプを備えたプローブガス検出器ならびにこのようなプローブガス検出器を運転する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-506172   出願人：ライボルトアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開平2-054163
  

審査官引用 (2件)

• 真空ポンプを備えたプローブガス検出器ならびにこのようなプローブガス検出器を運転する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-506172   出願人：ライボルトアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開平2-054163